產(chǎn)品描述
RB100 系列 為半導(dǎo)體行業(yè)晶圓傳輸開發(fā)的專用機械手,具備完全自主的知識產(chǎn)權(quán),產(chǎn)品已通過 SEMI S2 認(rèn)證。RB100 具備較為豐富的產(chǎn)品序列,包含了單臂、雙臂、末端翻轉(zhuǎn)、防水等不同的機型。
性能參數(shù)
配合自主設(shè)計的末端拾取器,可實現(xiàn) 300mm 及以下各種材質(zhì)和厚度晶圓的可靠傳輸。
? 適用于 300mm 及以下尺寸晶圓傳輸
? 可實現(xiàn)末端自由軌跡和斜插功能
? 完全自主知識產(chǎn)權(quán),可客制化訂制

獲取報價