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晶圓搬運機械手RB100S

RB100 系列為半導(dǎo)體行業(yè)晶圓傳輸開發(fā)的專用機械手，具備完全自主的知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品已通過 SEMI S2 認(rèn)證。RB100 具備較為豐富的產(chǎn)品序列，包含了單臂、雙臂、末端翻轉(zhuǎn)、防水等不同的機型。

配合自主設(shè)計的末端拾取器，可實現(xiàn) 300mm 及以下各種材質(zhì)和厚度晶圓的可靠傳輸。 ? 適用于 300mm 及以下尺寸晶圓傳輸 ? 可實現(xiàn)末端自由軌跡和斜插功能 ? 完全自主知識產(chǎn)權(quán)，可客制化訂制